МОСКВА, 15 января. /ТАСС/. Механизм лазерного нанесения структур на стекло с разрешением в 1000 раз меньше диаметра человеческого волоса разработан в совместном исследовании ученых из МФТИ, ИХФ им. Семенова, МГУ и ИПХФ, сообщается в пресс-релизе МФТИ.
"Такой метод позволит создавать на поверхности стекла структуры с разрешением менее 100 нанометров", - говорится в пресс-релизе.
Вся технология, разработанная российскими учёными выглядит следующим образом. Сначала поверхность стекла облучается фемтосекундным лазером, излучение которого фокусируется с помощью стеклянной микросферы и оптической ловушки в нужную точку стекла. (см. рис.1)
В этих местах на его поверхности образуются широкие бугорки, которые после обработки стекла щёлочным раствором уже превращаются в ямки с меньшими размерами и более чёткими контурами (см. рис.2)
Разрешение или минимальный размер наносимой детали это ключевой параметр любого метода гравировки. Чем оно выше, тем более сложные и точные структуры можно создавать, и тем интереснее эти структуры для технологии. Авторам работы удалось с помощью их подхода достичь хорошего разрешения - около 100 нанометров.
Минимальная ширина кратера, полученного с помощью фокусировки фемтосекундного лазерного излучения, была равна 70 нм (см. рис. 3)., а для демонстрации возможностей метода на стекло была нанесена аббревиатура Института Химической Физики (ICP) (см. рис. 4). Средняя ширина каждой буквы составляла 100 нм, глубина - 20 нм.
Наногравировку, в частности, используют для создания сверхточных схем в микрофлюидике: по созданным в стекле, или, скажем, пластике каналам может течь рабочая жидкость, соединяя различные части схемы. Статья исследователей опубликована в журнале ACS Applied Materials& Interfaces.
