ЕКАТЕРИНБУРГ, 17 февраля. /ТАСС/. Ученые рассчитывают, что бета-версия рентгеновского литографа для производства современных чипов может появиться в России уже через 5 лет. В ближайшие два года планируется разработка альфа-версии консорциумом организаций, в который входят ряд академических институтов и учреждений Росатома, а также частные инновационные компании, сообщил ТАСС в пятницу научный руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ, Саров, Нижегородская область) академик РАН Александр Сергеев в Уральском федеральном университете.
"Сначала идет разработка физического макета, так называемой альфа-машины, в котором на лабораторном столе демонстрируется работоспособность многочисленных узлов сложнейшего устройства. Бета-машина - это уже работающий на производство чипов прототип, собранный в единый комплекс, а в дальнейшем появляется тиражируемое коммерческое устройство. В этом году начнется создание альфа-машины, включающей все компоненты литографа: источник мягкого рентгеновского излучения на основе лазерной плазмы, систему рентгеновских зеркал для транспортировки и фокусировки излучения на фоторезисте, рентгеновские маски, систему позиционирования пластин. У нас в стране есть практически все компетенции, чтобы через пять лет появился отечественный прототип литографа с технологией на 28 нанометров", - сказал Сергеев.
Ранее сообщалось, что консорциум организаций, входящих в Национальный центр физики и математики (НЦФМ, Саров, Нижегородская область), предложил проект создания рентгеновского литографа в рамках программы трансфера технологий в гражданскую сферу. В настоящее время монополистом по производству таких машин в мире является голландская копания ASML, использующая технологию лазерно-плазменного источника рентгена, созданную американскими национальными лабораториями. В устройствах AMSL лазер испаряет олово, рентгеновское излучение получившейся плазмы используется для фотолитографии. Альтернативный российский проект будет использовать для фокусировки излучения разработанные в российских институтах рентгеновские зеркала и мощные лазеры.
В настоящее время западные страны ограничили экспорт технологий по производству микроэлектронной компонентной базы в России.
НЦФМ, созданный в 2021 году по поручению президента РФ Владимира Путина, объединяет в рамках своей научно-технической программы более 50 исследовательских организаций, университетов и высокотехнологичных компаний страны. Для подготовки кадров создано образовательное ядро - Филиал МГУ в Сарове, в котором ведется обучение магистрантов и аспирантов. К концу Десятилетия науки и технологий на базе НЦФМ будет создан комплекс передовых лабораторий и установок "мегасайенс".
О визите в Екатеринбург
Академик РАН Александр Сергеев открыл Всероссийскую акцию "Ученые - в школы" на Урале. В Уральском федеральном университете имени первого президента России Б. Н. Ельцина (УрФУ) научный деятель рассказал о новейших достижениях отечественных физиков и математиков, а также объяснил прикладное значение открытий. Студенты узнали о тенденциях развития отечественной науки и амбициозных проектах, которые сегодня реализуют начинающие исследователи вместе с известными учеными.
Просветительская акция входит в масштабный проект "Ученый говорит" Российского общества "Знание" и позволит лекторам в дальнейшем принять участие в интеллектуальных состязаниях "Ученый говорит. Батлы", научных форумах "Ученый говорит", а лучшим - стать спикерами на Конгрессе молодых ученых в Сочи.
