МОСКВА, 8 февраля. /ТАСС/. Рентгеновский литограф для производства современных чипов создадут в рамках научной программы Национального центра физики и математики (НЦФМ, Саров, Нижегородская область). Об этом сообщил в среду на пресс-конференции в ТАСС научный руководитель Российского федерального ядерного центра - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики (ГК "Росатом") Вячеслав Соловьев.
Предприятия Японии и Нидерландов занимают ведущие позиции в мире в сфере оборудования для производства полупроводников. В частности, речь идет о мировом лидере в производстве литографов, нидерландской компании AMSL. Эти страны и США ограничивают экспорт этих технологий.
"Программа (научная программа НЦФМ - прим. ТАСС) развивается, дополняется с учетом тех результатов, которые мы получаем. Один из новых проектов - это создание литографа. Он также будет [ создаваться] в рамках Национального центра физики и математики. <...> И в кооперации с нашим ядерным центром, с Росатомом, с нижегородским Институтом физики микроструктур этот проект мы будем реализовывать", - сказал Соловьев.
Проект создания в РФ рентгеновских литографов, позволяющих производить чипы с нанометровым топологическим размером, предложил в 2022 году научный руководитель НЦФМ, академик Александр Сергеев. В устройствах AMSL лазер испаряет олово, рентгеновское излучение получившейся плазмы используется для фотолитографии. Альтернативный российский проект будет использовать для фокусировки излучения разработанные в российских институтах рентгеновские зеркала. По оценке академика, через два года может получиться литографическая система с мощностью, которая в разы превосходит те, что делает AMSL.
На пресс-конференции в ТАСС Сергеев также назвал эту разработку среди интересных проектов НЦФМ.
Технологический суверенитет и технологическое освоение страны
Говоря о других проектах, реализуемых в рамках научной программы центра, Сергеев выделил создание трех установок класса мегасайенс. К ним относится лазер, мощность импульса которого будет на три порядка превосходить мощность всех электростанций на Земле, и многофункциональный ускорительный комплекс. Он позволит исследовать структуру микромира на более глубоком уровне. Также будет создан фотонный компьютер, вычислительная мощность которого на три-черыре порядка превышает те, которые сейчас есть у ЭВМ.
Сергеев объяснил отличие нового проекта от классических академгородков. "Академгородки в Сибири на Дальнем Востоке и Урале создавались для решения задачи пространственного научно-технического освоения страны. НЦФМ в Сарове - это технологическое освоение страны. <...> Сейчас речь идет о том, чтобы мы в целом спектре технологий обеспечили технологический паритет и суверенитет", - сказал академик.
НЦФМ, созданный в 2021 году по поручению президента РФ, объединяет известных и начинающих физиков и математиков из десятков научных институтов, научно-исследовательских вузов и высокотехнологичных компаний России. Для обучения магистрантов и аспирантов было создано образовательное ядро - филиал МГУ в Сарове. К концу Десятилетия науки и технологий на базе НЦФМ будет создан комплекс из научно-исследовательских корпусов, передовых лабораторий и установок мегасайенс.
