Все новости

Ученые в Ростове-на-Дону создали технологию получения пленок сложных оксидов

Технология позволяет формировать активную среду для микроэлектроники следующего поколения

ТАСС, 4 апреля. Ученые Южного научного центра РАН (Ростов-на-Дону) разработали принципиально новую технологию получения пленок сложных оксидов, которая позволяет создавать новую активную среду для микроэлектроники следующего поколения. Об этом сообщает в среду пресс-служба организации со ссылкой на главного научного сотрудника Южного научного центра РАН Владимира Мухортова.

Нелинейные полифункциональные диэлектрики, в том числе сегнетоэлектрики, представляют собой новую активную среду для микроэлектроники следующего поколения с принципиально новыми свойствами. Речь идет о тонких пленках многокомпантного оксида толщиной от 4 нанометров и выше.

"Ученые разработали новую установку "Плазма-50 СЭ", на которой можно сделать тонкие пленки сегнетоэлектриков различного состава при высоком структурном совершенстве. При этом установка компактна, она величиной с письменный стол не требует высокой энергетики и особых производственных условий. Ее можно широко использовать как в научных центрах, так и в производстве. Устройство намного дешевле аналогов, выпускаемых в США, при существенном превосходстве в качестве тонких пленок", - рассказал Мухортов.

По его словам, это открывает путь к конструированию новых веществ с уникальными свойствами. "На их основе нами разработан ряд принципиально новых электрически перестраиваемых устройств микроэлектроники", - отметил ученый.

Специфика исследования

Он пояснил, что для получения сегнетоэлектриков в виде пленки необходимо решить противоречивую задачу: для образования необходимой кристаллической решетки требуются высокие температуры, но при этом неизбежно нарушается состав сегнетоэлектрика. Над получением таких многокомпонентных веществ в виде пленок на протяжении десятков лет работает огромное количество лабораторий по всему миру, добавил Мухортов. В качестве основной идеи используется хорошо проверенный в микроэлектронике технологический прием: для достижения поставленной цели необходимо организовать последовательное выполнение большого количества операций при тщательном контроле каждой. Однако применительно к нелинейным диэлектрикам такой подход не срабатывает, указал исследователь.

"Поэтому мы предложили создать соответствующую среду, а она должна сама разрешать данное противоречие и обеспечивать рост пленки необходимого состава и структуры высокого совершенства. Это новое направление в науке и технике, естественным названием которого может стать плазменная "суперхимия", когда элементарными составляющими связей будут не атомы или молекулы обычного вещества, а специфические наночастицы", - отметил ученый.

Если с такой средой ввести в контакт подложку, на ней будет осаждаться сегнетоэлектрическая пленка высокого структурного качества. Механизм роста пленки целиком саморегулируется законами самой среды, а при изменении внешних условий - например, напряжение в сети - она сама подстраивается в необходимое для роста состояние, заключил Мухортов.