Технология кратного снижения брака при производстве микросхем получила грантовую поддержку

МОСКВА, 25 ноября. /ТАСС/. Разработка Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) роботизированного аэрозольного комплекса напыления фоторезистов при изготовлении электронных плат получила грантовую поддержку. Предполагается, что реализация проекта позволит снизить долю брака на этой операции с 50% до 10%, сообщили в пятницу в пресс-службе вуза.

Разработка комплекса осуществлена сотрудником университета Дмитрием Рогожниковым.

"Проект сотрудника научно-образовательного центра "Нанотехнологии" ТУСУРа стал победителем грантового конкурса "Старт - цифровые технологии-1" (очередь V) в направлении "Робототехнические комплексы" с проектом "Разработка системы аэрозольного напыления фоторезистов. <…> Создание системы для аэрозольного нанесения фоторезиста исключит человеческий фактор неравномерного нанесения, снизит трудоемкость, увеличит производительность нанесения фоторезистов минимум в два раза, а также уменьшит расход фоторезиста в 15 раз (по предварительным замерам). Благодаря этому удается добиться снижения стоимости этапа производства микрополосковых плат минимум в 10 раз и увеличивает выход годных сложных плат с 50% до 90% и более", - говорится в сообщении.

Существующие методы нанесения фоторезиста - центрефугирования, погружения - приводят к большой доле брака. По словам автора проекта, идея аэрозольного покрытия возникла несколько лет назад, когда разработчик испытывал для нанесения фоторезистов различные типы существующих аэрографов. "Даже испытания в ручном режиме показали отличный результат при работе с подложками с отверстиями, однако он не был лишен недостатков: в отличие от робота человек может неровно провести факел аэрографа, что может привести к непокрытым фоторезистом участкам. Стала очевидна необходимость создания роботизированного программно-аппаратного комплекса", - приводит пресс-служба слова Рогожникова.

Экспериментальный образец разработчики планируют создать на платформе 3D-принтера. "Мы дорабатываем нижний столик, на который будут крепиться под углом к факелу аэрографа подложки. Также будет разработана плата управления с ПО: через оконное приложение мы сможем вводить параметры и управлять нанесением", - сказал автор проекта. Возможность менять угол факела в процессе нанесения станет главной отличительной особенностью устройства. В настоящее время зарубежные аналоги производят распыление линейно. Но обработать фоторезистом толстые подложки (0,5-1 мм) таким способом не получится: верхние слои будут препятствовать проникновению фоторезиста глубоко в отверстия. Если добавить управление углом факела, то можно запылять более глубокие отверстия.

По словам разработчиков - это их доработка в общепринятую модель. При этом авторы проекта не нашли аналогов импортным устройствам в России, а также ни в России, ни за рубежом нет устройств с переменным углом при нанесении.